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CVD-1700浮子混氣系統
關 鍵 詞:高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD/CVI實驗、材料制備、納米線生長、材料燒結
CVD-1700系統由SGL-1700真空管式爐,HQF-Ⅲ浮子混氣系統,內置測溫系統及真空系統等組成。此系統燒結溫度可達1700℃;真空泵采用雙極旋片真空泵,真空度可達到5x10-1Pa;可實現不同的1~3路氣體混合;內置測溫系統可實時監測反應管內的溫度變化。
型       號:CVD-1700
品       牌:鉅晶
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CVD-1700系統由SGL-1700真空管式爐,HQF-Ⅲ浮子混氣系統,內置測溫系統及真空系統等組成。此系統燒結溫度可達1700℃;真空泵采用雙極旋片真空泵,真空度可達到5x10-1Pa;可實現不同的1~3路氣體混合;內置測溫系統可實時監測反應管內的溫度變化。

主要功能和特點:

1、高真空系統由雙級旋片真空泵和分子泵組成,最高真空可達0.0001Pa;

2、可配合壓強控制儀控制氣體壓力實現負壓的精準控制;

3、數字質量流量控制系統是由多路質量流量計,流量顯示儀等組成,實現氣體的流量的精密測量和控制;每條氣體管路均配備高壓逆止閥,保證系統的安全性和連續均勻性。

4、采用KF快速法蘭密封,裝卸方便快捷;管路采用世界頂級Swagelok卡套連接,不漏氣;

5、超溫、過壓時,自動切斷加熱電源及流量計進氣,使用安全可靠。

主要用途:

高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD/CVI實驗,特別適用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備、納米線生長、電池材料干燥燒結等場所。

主要技術參數:

SGL-1700真空管式爐

雙層爐殼間配有風冷系統,有效保證外殼表面溫;

日本技術真空吸附成型的優質高純氧化鋁多晶纖維固化爐膛,保溫性能好

加熱元件采用進口優質U型硅鉬棒,表面負荷高,大大提高了其使用壽命

電壓

AC220V      50/60Hz

功率

6KW

爐管

采用99氧化鋁剛玉管,致密度高,經久耐用,不易斷裂

尺寸:Φ40/60/80*/1000mm

4個氧化鋁管堵

法蘭及支撐

SUS304不銹鋼快速水冷法蘭,長期水冷無腐蝕

一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷

可調節的法蘭支撐,平衡爐管的受力支撐

包含進氣、出氣、真空抽口針閥,KF密封圈及卡箍組合,4個密封硅膠圈等

加熱系統

加熱元件:6U型硅鉬棒

加熱區長度:280mm

恒溫區長度:100mm

工作溫度:≤1600

最高溫度:1650

升溫速率:≤10/min

溫控系統

溫度控制采用人工智能調節技術,具有PID調節、自整定功能

50段升降溫程序

測溫元件:B型雙鉑銠熱電偶

恒溫精度:±1

HQF-Ⅲ混氣系統

三路浮子流量計配置在移動工作臺上,可以同時通入三路不同的氣體

內置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥

管路采用聚四氟乙烯軟管,耐溫耐腐

每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥

流量規格:0.3~3L/min

控制精度:±5%

低真空系統

采用雙極旋片真空泵,真空度可達5x10-1 Torr

不銹鋼充油真空壓力表,良好的抗震性

內置測溫系統

測溫元件可從加熱區邊緣延伸至溫區中心

法蘭密封,保證爐管的密封性

測溫元件:B型雙鉑銠熱電偶

尺寸

高溫爐:660*580*910mm

混氣移動工作臺:800*540*720mm

可選配件

HQZ混氣系統,中、高真空系統,各種剛玉坩堝,剛玉管,計算機控制軟件,無紙記錄儀,氧含量分析儀,冷卻水循環機等。


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